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美國SVT超高真空解理機/解理鍍膜機

美國SVT超高真空解理機/解理鍍膜機

更新時間:2024-11-28

產品型號:WP-15

廠商性質:經銷商

生產地址:

產品報價:

產品特點:美國SVT超高真空解理機/解理鍍膜機
SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。
所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進行下一步批量加工。
*設計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。
解理機可以增加鈍化層沉積模塊。
解理后堆疊在一起的Bar條直接進入鈍化室,不用暴露大。

產品詳情

美國SVT超高真空解理機/解理鍍膜機介紹

SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。

所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進行下一步批量加工。

*設計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。

解理機可以增加鈍化層沉積模塊。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進入鈍化室,不用暴露大氣。


美國SVT超高真空解理機/解理鍍膜機規(guī)格

在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)

加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)

8''法蘭接口

可烘烤至180℃,(200℃可選)

樣品可以兩種方向加工

UHV環(huán)境兼容

Cassette裝取





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