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美國(guó)SVT RF/射頻等離子源時(shí)間：2024-11-28型號(hào)：2.75/4.5“/6.0''廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商瀏覽量：3974美國(guó)SVT RF/射頻等離子源產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 美國(guó)SVT公司的RF等離子源適用于多個(gè)公司多種型號(hào)。 法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。 等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生高能離子。 產(chǎn)生的束流含有零離子，有助于生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
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