白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度zui高的測量儀器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達(dá)到其加工精度要求。
 

　　白光干涉儀基本原理：

　　是用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
 

　　白光干涉儀產(chǎn)品用途：

　　結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。
 

　　白光干涉儀的測量應(yīng)用：

　　以測量單刻線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
 

　　白光干涉儀的特點(diǎn)：

　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。

　　5、高速數(shù)字信號處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

　　7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

　　8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。